Nichtzulassungsbeschwerde - grundsätzliche Bedeutung einer Rechtssache - überlanges Vergütungsfestsetzungsverfahren - Entschädigungsanspruch für den Rechtsanwalt - geringfügige Verzögerung - geringe Bedeutung - Wiedergutmachung auf andere Weise - keine Geldentschädigung - Tatsachenwürdigung im Einzelfall - sozialgerichtliches Verfahren - Nichtzulassung der Revision als Verfahrensfehler - Entscheidungserheblichkeit - Verletzung des rechtlichen Gehörs - Darlegungsanforderungen